이 논문에는 Ni-Co 유연 기판 기반의 열전기(electrothermal)적 박막 액추에이터의 FEM 설계 및 성능평가 결과가 기술되어 있다. 박막 액추에이터는 마이크로 미러(micro mirror), 소형 origami 로봇용 액추에이터, MAV(micro air vehicle) 등에 적용이 가능하다. 본 연구에서는 미세정밀가공공정(MEMS 공정)을 이용하여 두께 수 μm ~ 수십 μm의 유연한 Ni-Co 박막을 제작한 후 그 위에 절연층 및 백금(Pt) 히터를 형성시켜 유연구조체 기반의 소형 액추에이터를 구현하였다. 본 논문에서 제시한 유연박막 액추에이터의 유한요소해석(FEM)을 하였다. 유한요소해석은 실험 기반으로 조건과 환경 요소를 정하고 다중물리(multiphysics)을 이용하여 변위, 힘 해석을 수행 했었다. 액추에이터에 대해 입력 전력량 별 작동변위, 작동력을 측정하고 FEM 해석 결과와 비교를 하였다.