본 논문에서 개발한 기능성 패키지는 isolation platform, 센서, 세라믹 패키지로 구성된다. 기능성 패키지 구현의 핵심 부품인 isolation platform은 멤스 공정을 이용하여 제작되었으며 상용 6축 관성센서는 platform 상에 조립되었고 platform은 세라믹 패키지 내에 조립되었다. 세라믹 패키지는 고 열절연을 위해 진공 패키징되었다. Platform에 형성된 박막 히터를 이용하여 조립된 센서를 일정한 온도로 유지함으로써 센서의 온도 특성을 비약적으로 향상시킬 수 있으며 본 논문에서는 상용 6축 관성센서에 항온기능을 적용함으로써 관성센서의 감도와 바이어스 안정도를 비약적으로 향상시키고자 한다.