MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술의 발전은 관성항법의 핵심 요소들 가운데 하나인 gyroscope를 기존의 크고 무겁고 고가인 소자로부터 작고 가볍고 저가인 소자로 대체하기 시작하였다. 이러한 MEMS gyroscope의 성공적인 대체를 위해서는 기본 성능인자인 감도는 물론 ZRO(Zero Rate Output) 등과 같은 다양한 특성 또한 요구 성능을 만족시켜야 한다. 이에 본 논문에서는 MEMS gyroscope에 대해 ZRO를 포함하는 다양한 특성분석이 가능한 과도응답 모델을 도출하고, 그 모의해석 결과로부터 MEMS 각속도 센서의 성능 특성을 분석하였다.