본 연구에서는 고온용 플렉시블 디바이스의 기판으로 사용할 수 있는 Ni-Co 박막의 새로운 제작 공정을 제시하였다. Ni-Co 합금은 기계적 강도 및 고온 안정성이 우수하므로 고온용 센서 및 액츄에이터의 기판으로 적합하다. 본 연구에서 제시한 신규 제작 공정에서는 실리콘 캐리어 웨이퍼에 시드층(seed layer)을 증착하고 그 위에 전해도금법을 이용해 Ni-Co 박막을 형성한 후 릴리즈(release) 공정을 이용해 Ni-Co 박막을 떼어냄으로써 두께 수 μm ~ 수십 μm의 플렉시블 박막을 제작할 수 있다. 본 논문에서는 Ni-Co 박막을 캐리어 웨이퍼로부터 떼어낸 후 SEM, EDS를 이용하여 분리된 계면의 형태 및 물질을 분석하였다. 이후 나노스케일 인장시험기를 이용하여 다양한 두께로 제작된 Ni-Co 박막의 기계적 물성을 측정하였다.