본 논문에서는 변위증폭기구를 활용한 박판형 마이크로 액츄에이터의 설계에 관한 내용이 기술되어 있다. 박판형 마이크로 액츄에이터는 두께 수십 μm를 갖는 넓은 판형 액츄에이터를 의미한다. 이러한 넓은 판형 액츄에이터는 판형 로봇으로 활용이 가능하며, 동그랗게 말 경우 원통형 액츄에이터로 활용가능하다. 본 연구에서 제안한 박판형 마이크로 액츄에이터는 MEMS 기술을 이용해 마이크로 히터가 통합 제작되며, 열팽창에 의해 증가된 변위를 변위증폭기구를 이용해 증폭시킬 수 있도록 설계하였다. 상기 액츄에이터는 두께가 수십 μm로 매우 얇기 때문에 열팽창할 경우 좌굴이 발생할 수 있다. 이에 따라 좌굴조건을 고려하여 형상을 설계하였다. 또한 변위증폭기구의 형상에 따라 변위 증폭률과 구조안정성이 결정되기 때문에 수학적 모델링 기법과 FEM 해석툴을 이용하여 변위증폭기구를 설계하였다.